Ultrahigh Vacuum Contactless Capacitance-Voltage Characterization of Clean and Passivated Silicon Surfaces

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Ultrahigh Vacuum Contactless Capacitance-Voltage Characterization of Clean and Passivated Silicon Surfaces
• 著者・編者: Toshiyuki Yoshida [著]
• 著者標目: 吉田, 俊幸 ヨシダ, トシユキ
• 出版事項: [Toshiyuki Yoshida]
• 出版年月日等: 2001
• 出版年（W3CDTF）: 2001
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 超高真空対応非接触容量-電圧法によるシリコンの清浄表面と不活性化表面の評価 チョウコウ シンクウ タイオウ ヒセッショク ヨウリョウ - デンアツホウ ニ ヨル シリコン ノ セイジョウ ヒョウメン ト フカッセイカ ヒョウメン ノ ヒョウカ
• 授与機関名: 北海道大学
• 授与年月日: 平成13年3月23日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2001
• 報告番号: 甲第5529号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2001-E687
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000399967; http://id.ndl.go.jp/bib/000000399967
• 整理区分コード: 213

目次

Contents

Dedication

Acknowledgement

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Chapter1 Introduction