Ultrahigh Vacuum Contactless Capacitance-Voltage Characterization of Clean and Passivated Silicon Surfaces

• Material Type: 博士論文
• Title: Ultrahigh Vacuum Contactless Capacitance-Voltage Characterization of Clean and Passivated Silicon Surfaces
• Author/Editor: Toshiyuki Yoshida [著]
• Author Heading: 吉田, 俊幸 ヨシダ, トシユキ
• Publication, Distribution, etc.: [Toshiyuki Yoshida]
• Publication Date: 2001
• Publication Date (W3CDTF): 2001
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 超高真空対応非接触容量-電圧法によるシリコンの清浄表面と不活性化表面の評価 チョウコウ シンクウ タイオウ ヒセッショク ヨウリョウ - デンアツホウ ニ ヨル シリコン ノ セイジョウ ヒョウメン ト フカッセイカ ヒョウメン ノ ヒョウカ
• Degree grantor/type: 北海道大学
• Date Granted: 平成13年3月23日
• Date Granted (W3CDTF): 2001
• Dissertation Number: 甲第5529号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2001-E687
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000399967; http://id.ndl.go.jp/bib/000000399967
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

Contents

Dedication

Acknowledgement

Contents

Chapter1 Introduction