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目次
Contents
p1
1 Introduction
p4
1.1 Background
p4
1.2 Recent problems in Cl₂ plasma etching and purpose of this dissertation
p9
1.3 Outline of this thesis
p17
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 熊谷慎也 [著]
- 著者標目
- 熊谷, 慎也 クマガイ, シンヤ
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2001
- 出版年(W3CDTF)
- 2001
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- 時間分解レーザー分光法を用いた半導体エッチングプロセスのための誘導結合塩素プラズマの研究 ジカン ブンカイ レーザー ブンコウホウ オ モチイタ ハンドウタイ エッチング プロセス ノ タメ ノ ユウドウ ケツゴウ エンソ プラズマ ノ ケンキュウ
- 授与機関名
- 東北大学