Studies on Polymer Langmuir-Blodgett Films for Chemically Amplified Photoresists

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Studies on Polymer Langmuir-Blodgett Films for Chemically Amplified Photoresists
• 著者・編者: 李鉄生 [著]
• 著者標目: 李, 鉄生 リ, テッセイ
• 出版事項: [李鉄生]
• 出版年月日等: 2001
• 出版年（W3CDTF）: 2001
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 高分子ラングミュアーブロジェット膜を用いた化学増幅型フォトレジストに関する研究 コウブンシ ラングミュアー ブロジェット マク オ モチイタ カガク ゾウフクガタ フォトレジスト ニ カンスル ケンキュウ
• 授与機関名: 東北大学
• 授与年月日: 平成13年3月26日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2001
• 報告番号: 甲第7997号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2001-N776
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000409653; http://id.ndl.go.jp/bib/000000409653
• 整理区分コード: 213

目次

CONTENTS

Chapter1 Introduction

1.1 Background

1.2 Lithography

1.3 Photoresist Technology