Studies on Polymer Langmuir-Blodgett Films for Chemically Amplified Photoresists

• Material Type: 博士論文
• Title: Studies on Polymer Langmuir-Blodgett Films for Chemically Amplified Photoresists
• Author/Editor: 李鉄生 [著]
• Author Heading: 李, 鉄生 リ, テッセイ
• Publication, Distribution, etc.: [李鉄生]
• Publication Date: 2001
• Publication Date (W3CDTF): 2001
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 高分子ラングミュアーブロジェット膜を用いた化学増幅型フォトレジストに関する研究 コウブンシ ラングミュアー ブロジェット マク オ モチイタ カガク ゾウフクガタ フォトレジスト ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成13年3月26日
• Date Granted (W3CDTF): 2001
• Dissertation Number: 甲第7997号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2001-N776
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000409653; http://id.ndl.go.jp/bib/000000409653
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

CONTENTS

Chapter1 Introduction

1.1 Background

1.2 Lithography

1.3 Photoresist Technology