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博士論文

直径400mm単結晶シリコンインゴットのマルチワイヤソー切断に関する研究

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直径400mm単結晶シリコンインゴットのマルチワイヤソー切断に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2001-P751
国立国会図書館書誌ID
000000410623
資料種別
博士論文
著者
大石弘 [著]
出版者
[大石弘]
授与年月日
平成13年9月30日
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与機関名・学位
岡山大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
チョッケイ 400mm タンケッショウ シリコン インゴット ノ マルチ ワイヤソー セツダン ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
大石弘 [著]
著者標目
大石, 弘 オオイシ, ヒロシ
出版事項
出版年月日等
2001
出版年(W3CDTF)
2001
数量
1冊
授与機関名
岡山大学