直径400mm単結晶シリコンインゴットのマルチワイヤソー切断に関する研究

直径400mm単結晶シリコンインゴットのマルチワイヤソー切断に関する研究

Call No. (NDL): UT51-2001-P751
Bibliographic ID of National Diet Library: 000000410623

Material type: 博士論文

Author: 大石弘 [著]

Publisher: [大石弘]

Date granted: 平成13年9月30日

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Degree grantor and degree: 岡山大学,博士 (工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 直径400mm単結晶シリコンインゴットのマルチワイヤソー切断に関する研究
Title Transcription: チョッケイ 400mm タンケッショウシリコンインゴットノマルチワイヤソーセツダンニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 大石弘 [著]
Author Heading: 大石, 弘オオイシ, ヒロシ
Publication, Distribution, etc.: [大石弘]
Publication Date: 2001
Publication Date (W3CDTF): 2001
Extent: 1冊
Degree Grantor: 岡山大学
Date Granted: 平成13年9月30日
Date Granted (W3CDTF): 2001
Dissertation Number: 甲第2278号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2001-P751
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000000410623
http://id.ndl.go.jp/bib/000000410623
Bibliographic Record Category (NDL): 213