有機シランを原料としたCVD法によるSiC系構造用セラミック作製プロセスの開発

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 有機シランを原料としたCVD法によるSiC系構造用セラミック作製プロセスの開発
• タイトルよみ: ユウキ シラン オ ゲンリョウ ト シタ CVDホウ ニ ヨル SiCケイ コウゾウヨウ セラミック サクセイ プロセス ノ カイハツ
• 著者・編者: 竹内隆 [著]
• 著者標目: 竹内, 隆 タケウチ, タカシ
• 出版事項: [竹内隆]
• 出版年月日等: [1999]
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: 1冊
• 授与機関名: 東京大学
• 授与年月日: 平成11年4月15日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1999
• 報告番号: 甲第14651号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2001-Q5
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000411591; http://id.ndl.go.jp/bib/000000411591
• 整理区分コード: 213

目次

目次

本論文の構成

第1章 序論

1.1 研究の背景と目的

1.2 具体的対象の設定