有機シランを原料としたCVD法によるSiC系構造用セラミック作製プロセスの開発
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Table of Contents
目次
本論文の構成
p1
第1章 序論
p2
1.1 研究の背景と目的
p2
1.2 具体的対象の設定
p4
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ユウキ シラン オ ゲンリョウ ト シタ CVDホウ ニ ヨル SiCケイ コウゾウヨウ セラミック サクセイ プロセス ノ カイハツ
- Author/Editor
- 竹内隆 [著]
- Author Heading
- 竹内, 隆 タケウチ, タカシ
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- [1999]
- Publication Date (W3CDTF)
- 1999
- Extent
- 1冊
- Degree grantor/type
- 東京大学