埼玉大学地域共同研究センター紀要 = Report of Cooperative Research Center, Saitama University

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: 埼玉大学地域共同研究センター紀要
• タイトルよみ: サイタマ ダイガク チイキ キョウドウ ケンキュウ センター キヨウ
• 巻次・部編番号: 6号 2005年度
• 著者標目: 埼玉大学地域共同研究センター サイタマ ダイガク チイキ キョウドウ ケンキュウ センター ( 01035876 )典拠; 埼玉大学総合研究機構地域共同研究センター サイタマ ダイガク ソウゴウ ケンキュウ キコウ チイキ キョウドウ ケンキュウ センター ( 01170176 )典拠
• 出版事項: 浦和 : 埼玉大学地域共同研究センター
• 出版事項（最新）: さいたま : 埼玉大学総合研究機構地域共同研究センター産学連携推進部門
• 出版年月日等: 2005
• 出版年（W3CDTF）: 2005
• 出版表示等に関する注記: 出版地の変更あり; 8号の出版者: 埼玉大学総合研究機構地域共同研究センター産学連携推進部門
• 刊行巻次・年月次: No. 1 (2000年度)-8号 (2007年度)
• 大きさ: 30cm
• 並列タイトル等: Report of Cooperative Research Center, Saitama University Report of Cooperative Research Center, Saitama University; Report of Cooperative Research Center, Saitama University
• その他のタイトル（キー・タイトル）: Saitama Daigaku Chiiki Kyoudou Kenkyuu Senta kiyou
• その他のタイトル: 埼玉大学地域共同研究センター共同研究成果報告書 サイタマ ダイガク チイキ キョウドウ ケンキュウ センター キョウドウ ケンキュウ セイカ ホウコクショ
• ISSN（掲載誌）: 1347-4758
• ISSN-L（掲載誌）: 1347-4758
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 著者別名: Saitama Univeraity. Cooperative Research Center; CRCSU
• NDLC: ZM2
• 改題等に関する注記: 継続前誌: 埼玉大学地域共同研究センター共同研究成果報告書
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z74-C975
• 関連情報: 関連資料 : 埼玉大学地域オープンイノベーションセンター紀要 (ISSN:1883-8278); https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000010060314
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000412725; http://id.ndl.go.jp/bib/000000412725
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版

目次

CMP用パッドのコンディショニングに関する基礎的研究

SiC単結晶の研磨における研磨ダメージの低減に関する検討

Cu配線材の電気化学的ポリシング法の基礎的研究(3)

プラナリゼーションCMPにおけるILD用ならびにCu用スラリーに関する基礎的研究

タングステンCMPにおけるスラリーの再生に関する基礎的研究