埼玉大学地域共同研究センター紀要 = Report of Cooperative Research Center, Saitama University

• Material Type: 雑誌
• Title: 埼玉大学地域共同研究センター紀要
• Title Transcription: サイタマ ダイガク チイキ キョウドウ ケンキュウ センター キヨウ
• Volume: (6) 2005年度
• Author Heading: 埼玉大学地域共同研究センター サイタマ ダイガク チイキ キョウドウ ケンキュウ センター ( 01035876 )Authorities; 埼玉大学総合研究機構地域共同研究センター サイタマ ダイガク ソウゴウ ケンキュウ キコウ チイキ キョウドウ ケンキュウ センター ( 01170176 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 浦和 : 埼玉大学地域共同研究センター
• Publication, distribution, etc. (Current/latest publisher): さいたま : 埼玉大学総合研究機構地域共同研究センター産学連携推進部門
• Publication Date: 2005
• Publication Date (W3CDTF): 2005
• Note (Publication, distribution, etc.): 出版地の変更あり; 8号の出版者: 埼玉大学総合研究機構地域共同研究センター産学連携推進部門
• Year and volume of publication: No. 1 (2000年度)-8号 (2007年度)
• Size: 30cm
• Alternative Title: Report of Cooperative Research Center, Saitama University Report of Cooperative Research Center, Saitama University; Report of Cooperative Research Center, Saitama University
• Key Title: Saitama Daigaku Chiiki Kyoudou Kenkyuu Senta kiyou
• Additional Title: 埼玉大学地域共同研究センター共同研究成果報告書 サイタマ ダイガク チイキ キョウドウ ケンキュウ センター キョウドウ ケンキュウ セイカ ホウコクショ
• ISSN (Periodical Title): 1347-4758
• ISSN-L (Periodical Title): 1347-4758
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn; eng
• Alias of Author: Saitama Univeraity. Cooperative Research Center; CRCSU
• NDLC: ZM2
• Note (Related Material): 継続前誌: 埼玉大学地域共同研究センター共同研究成果報告書
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Z74-C975
• Related Material: 関連資料; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000010060314
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000412725; http://id.ndl.go.jp/bib/000000412725
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition

Table of Contents

CMP用パッドのコンディショニングに関する基礎的研究

SiC単結晶の研磨における研磨ダメージの低減に関する検討

Cu配線材の電気化学的ポリシング法の基礎的研究(3)

プラナリゼーションCMPにおけるILD用ならびにCu用スラリーに関する基礎的研究

タングステンCMPにおけるスラリーの再生に関する基礎的研究