A study of Si/SiO2 interfacial properties for ULSI fabrication
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目次
提供元：国立国会図書館デジタルコレクションヘルプページへのリンク
論文目録
Contents
p2
1 Si-SiO₂ Systems and Si/SiO₂ Interfaces in ULSI
p5
1-1. Background
p6
1-2. Objective
p9
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 土明正勝 [著]
- 著者標目
- 土明, 正勝 ツチアキ, マサカツ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2001]
- 出版年（W3CDTF）
- 2001
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- 大規模集積化回路製造に関わるSi/SiO2界面特性の研究 ダイキボ シュウセキカ カイロ セイゾウ ニ カカワル Si
- 授与機関名
- 東京工業大学