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Proceedings of the fifth Symposium on Ion Sources and Ion-Assisted Technology. ; Proceedings of International Workshop by Professional Group on Ion-Based Techniques for Film Formation

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Proceedings of the fifth Symposium on Ion Sources and Ion-Assisted Technology. ; Proceedings of International Workshop by Professional Group on Ion-Based Techniques for Film Formation

国立国会図書館請求記号
ND371-57
国立国会図書館書誌ID
000001568351
資料種別
図書
著者
Edited by Toshinori Takagi
出版者
Research Group on Ion Engineering in Ion Beam Engineering Experimental Laboratory, Kyoto University
出版年
[1981]
資料形態
ページ数・大きさ等
489p ; 30cm
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

日本語書名: 第5回シンポジウム「イオン源とイオンを基礎とした応用技術」 国際学術研究集会「イオンを基礎とした薄膜形成技術」に関するシンポジウム開催期日: 昭和56年6月1日~5日

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
Proceedings of the fifth Symposium on Ion Sources and Ion-Assisted Technology ; Proceedings of International Workshop by Professional Group on Ion-Based Techniques for Film Formation
著者・編者
Edited by Toshinori Takagi
著者標目
高木, 俊宜, 1925- タカギ, トシノリ, 1925- ( 00534720 )典拠
出版年月日等
[1981]
出版年(W3CDTF)
1981
数量
489p
大きさ
30cm