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半導体プロセス材料実務便覧

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半導体プロセス材料実務便覧

国立国会図書館請求記号
ND371-156
国立国会図書館書誌ID
000001639201
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/12599133
資料種別
図書
著者
原徹, 柏木正弘 編集
出版者
サイエンスフォーラム
出版年
1983.4
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
468p ; 31cm
NDC
549.8
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デジタル

資料種別
図書
タイトルよみ
ハンドウタイ プロセス ザイリョウ ジツム ベンラン
著者・編者
原徹, 柏木正弘 編集
著者標目
原, 徹, 1934- ハラ, トオル, 1934- ( 00129322 )典拠
柏木, 正弘 カシワギ, マサヒロ ( 00137237 )典拠
出版年月日等
1983.4
出版年(W3CDTF)
1983
数量
468p
大きさ
31cm