資料詳細
要約等：
- 著者の豊富な経験をもとに、スパッタの基礎から応用に至る技術について、セラミックス高温超電導体の薄膜化などの最新の具体例をあげて解説。（提供元: 出版情報登録センター（JPRO））
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目次
1章 序章
2章 スパッタの基礎
3章 スパッタ装置と基本特性
4章 スパッタによる薄膜化
5章 スパッタによる微細加工
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北日本
北海道立図書館
紙- 請求記号：
- ５４９／ＳＵ
- 図書登録番号：
- 1104532369
札幌市中央図書館
紙- 請求記号：
- 431.8/ﾜ/
- 図書登録番号：
- 0112931290
関東
埼玉県立久喜図書館
紙- 請求記号：
- 541.6-ｽ
- 図書登録番号：
- 112866603
千葉県立西部図書館
紙- 請求記号：
- 4318/ 6/
- 図書登録番号：
- 1100618951
東京都立多摩図書館
紙- 請求記号：
- 5417-3001-88
- 図書登録番号：
- 1123179315
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