スパッタ技術
スパッタ技術
- Call No. (NDL)
- ND371-E20
- Bibliographic ID of National Diet Library
- 000001923929
Detailed bibliographic record
Summary, etc.：
- 著者の豊富な経験をもとに、スパッタの基礎から応用に至る技術について、セラミックス高温超電導体の薄膜化などの最新の具体例をあげて解説。(Provided by: 出版情報登録センター（JPRO）)
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Table of Contents
1章 序章
2章 スパッタの基礎
3章 スパッタ装置と基本特性
4章 スパッタによる薄膜化
5章 スパッタによる微細加工
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北海道立図書館
Paper- Call No.：
- ５４９／ＳＵ
- Book Registration Number：
- 1104532369
札幌市中央図書館
Paper- Call No.：
- 431.8/ﾜ/
- Book Registration Number：
- 0112931290
Kanto
埼玉県立久喜図書館
Paper- Call No.：
- 541.6-ｽ
- Book Registration Number：
- 112866603
千葉県立西部図書館
Paper- Call No.：
- 4318/ 6/
- Book Registration Number：
- 1100618951
東京都立多摩図書館
Paper- Call No.：
- 5417-3001-88
- Book Registration Number：
- 1123179315
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- Material Type
- 図書
- ISBN
- 4-320-08477-2
- Title
- Title Transcription
- スパッタ ギジュツ
- Author/Editor
- 和佐清孝, 早川茂 著
- Author Heading
- 和佐, 清孝 ワサ, キヨタカ ( 00130622 )Authorities早川, 茂, -2001 ハヤカワ, シゲル, -2001 ( 00009253 )Authorities
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 1988.6
- Publication Date (W3CDTF)
- 1988
- Extent
- 227p