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VLSI製造技術 : サブミクロン時代に向かう最先端MOS技術のすべて

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VLSI製造技術 : サブミクロン時代に向かう最先端MOS技術のすべて

国立国会図書館請求記号
ND386-E63
国立国会図書館書誌ID
000001982571
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/13649536
資料種別
図書
著者
徳山巍, 橋本哲一 編著
出版者
日経BP社
出版年
1989.1
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
325p ; 27cm
NDC
549.7
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デジタル

資料種別
図書
ISBN
4-8222-7055-6
タイトルよみ
ヴイエルエスアイ セイゾウ ギジュツ
著者・編者
徳山巍, 橋本哲一 編著
著者標目
徳山, 巍, 1929- トクヤマ, タカシ, 1929- ( 00084832 )典拠
橋本, 哲一, 1940- ハシモト, ノリカズ, 1940- ( 00159267 )典拠
出版年月日等
1989.1
出版年(W3CDTF)
1989
数量
325p