半導体工業用材料ガス安全ハンドブック
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目次
1． ガスの物性
1． 三塩化ヒ素/ 4
2． 五塩化ヒ素/ 7
3． 三フッ化ヒ素/ 8
4． 五フッ化ヒ素/ 11
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関東
東京都立中央図書館
紙- 請求記号：
- 5490-3080-90
- 図書登録番号：
- 1124177763
神奈川県立川崎図書館
紙- 請求記号：
- 549.8-17
- 図書登録番号：
- 80191398
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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ハンドウタイ コウギョウヨウ ザイリョウ ガス アンゼン ハンドブック
- 著者・編者
- 安全工学協会 編
- 出版事項
- 出版年月日等
- 1990.4
- 出版年（W3CDTF）
- 1990
- 数量
- 301p
- 大きさ
- 22cm