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半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイム、DLTS評価を中心として

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半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイム、DLTS評価を中心として

国立国会図書館請求記号
ND371-E83
国立国会図書館書誌ID
000002099465
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/13649496
資料種別
図書
著者
宇佐美晶, 徳田豊 [著]
出版者
リアライズ社
出版年
1990.9
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
628p ; 27cm
NDC
549.8
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書誌情報

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デジタル

資料種別
図書
タイトルよみ
ハンドウタイ デバイス コウテイ ヒョウカ ギジュツ
著者・編者
宇佐美晶, 徳田豊 [著]
著者標目
宇佐美, 晶, 1937-1995 ウサミ, アキラ, 1937-1995 ( 00114623 )典拠
徳田, 豊, 1950- トクダ, ユタカ, 1950- ( 00207110 )典拠
出版年月日等
1990.9
出版年(W3CDTF)
1990
数量
628p
大きさ
27cm