インプロセス計測のための光基礎技術

• 資料種別: 図書
• タイトル: インプロセス計測のための光基礎技術
• タイトルよみ: インプロセス ケイソク ノ タメノ ヒカリ キソ ギジュツ
• 著者標目: 応用物理学会 オウヨウ ブツリ ガッカイ ( 00281497 )典拠
• 出版事項: 吹田 : 応用物理学会関西支部
• 出版年月日等: 1987.11
• 出版年（W3CDTF）: 1987
• 数量: 79p
• 大きさ: 26cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 測定・測定器 ソクテイソクテイキ ( 00571403 )典拠
• NDC8版: 501.22
• NDLC: M191
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 昭和62年度シンポジウム; 期日・会場: 昭和62年11月20日 住友ビル大会議室
• 書誌注記: 付: 参考文献
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M191-E59
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000002100746; http://id.ndl.go.jp/bib/000002100746
• 全国書誌番号: 91035381
• 目録規則: 日本目録規則新版予備版
• 整理区分コード: 111