インプロセス計測のための光基礎技術

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国立国会図書館デジタルコレクション

インプロセス計測のための光基礎技術

Call No. (NDL): M191-E59
Bibliographic ID of National Diet Library: 000002100746
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/13666480

Material type: 図書

Author: 応用物理学会

Publisher: 応用物理学会関西支部

Publication date: 1987.11

Material Format: Paper・Digital

Capacity, size, etc.: 79p ; 26cm

NDC: 501.22

Notes on use

Note (General)：: 昭和62年度シンポジウム期日・会場: 昭和62年11月20日住友ビル大会議室

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Paper Digital

Material Type: 図書
Title: インプロセス計測のための光基礎技術
Title Transcription: インプロセスケイソクノタメノヒカリキソギジュツ
Author Heading: 応用物理学会オウヨウブツリガッカイ ( 00281497 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: 吹田 : 応用物理学会関西支部
Publication Date: 1987.11
Publication Date (W3CDTF): 1987
Extent: 79p
Size: 26cm
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 測定・測定器ソクテイソクテイキ ( 00571403 )Authorities
NDC 8th ed.: 501.22
NDLC: M191
Target Audience: 一般
Note (General): 昭和62年度シンポジウム
期日・会場: 昭和62年11月20日住友ビル大会議室
Note (Bibliography): 付: 参考文献
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: M191-E59
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000002100746
http://id.ndl.go.jp/bib/000002100746
National Bibliography No. (JPNO): 91035381
Cataloging Rule: Nippon Cataloging Rules, Preliminary New Edition
Bibliographic Record Category (NDL): 111