半導体プロセスを革新する新しいフッ素化学 : Proceeding(超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム ; no.11)

• 資料種別: 図書
• タイトル: 半導体プロセスを革新する新しいフッ素化学 : Proceeding
• タイトルよみ: ハンドウタイ プロセス オ カクシンスル アタラシイ フッソ カガク
• 著者・編者: 半導体基盤技術研究会 編
• シリーズタイトル: 超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム ; no.11
• 著者標目: 半導体基盤技術研究会 ハンドウタイ キバン ギジュツ ケンキュウカイ ( 00264648 )典拠
• 出版事項: 東京 : 半導体基盤技術研究会
• 出版年月日等: 1990.7
• 出版年（W3CDTF）: 1990
• 数量: 329p
• 大きさ: 30cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 半導体 ハンドウタイ ( 00562913 )典拠; 弗素 フッソ ( 00563785 )典拠
• NDC8版: 549.8
• NDLC: ND371
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 英語書名: Innovative fluorine technology for semiconductor ULSI processing 英文併記; 会期・会場: 1990年7月5日～7日 経団連会館
• 書誌注記: 付: 文献
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND371-E87
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000002110690; http://id.ndl.go.jp/bib/000002110690
• 全国書誌番号: 91045325
• 目録規則: 日本目録規則新版予備版
• 整理区分コード: 111