半導体プロセスを革新する新しいフッ素化学 : Proceeding(超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム ; no.11)

Call No. (NDL): ND371-E87
Bibliographic ID of National Diet Library: 000002110690
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/13649501

Material type: 図書

Author: 半導体基盤技術研究会編

Publisher: 半導体基盤技術研究会

Publication date: 1990.7

Material Format: Paper・Digital

Capacity, size, etc.: 329p ; 30cm

NDC: 549.8

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Note (General)：: 英語書名: Innovative fluorine technology for semiconductor ULSI processing 英文併記会期・会場: 1990年7月5日～7日経団連会館

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Paper Digital

Material Type: 図書
Title: 半導体プロセスを革新する新しいフッ素化学 : Proceeding
Title Transcription: ハンドウタイプロセスオカクシンスルアタラシイフッソカガク
Author/Editor: 半導体基盤技術研究会編
Series Title: 超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウム ; no.11
Author Heading: 半導体基盤技術研究会ハンドウタイキバンギジュツケンキュウカイ ( 00264648 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: 東京 : 半導体基盤技術研究会
Publication Date: 1990.7
Publication Date (W3CDTF): 1990
Extent: 329p
Size: 30cm
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 半導体ハンドウタイ ( 00562913 )Authorities
弗素フッソ ( 00563785 )Authorities
NDC 8th ed.: 549.8
NDLC: ND371
Target Audience: 一般
Note (General): 英語書名: Innovative fluorine technology for semiconductor ULSI processing 英文併記
会期・会場: 1990年7月5日～7日経団連会館
Note (Bibliography): 付: 文献
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: ND371-E87
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000002110690
http://id.ndl.go.jp/bib/000002110690
National Bibliography No. (JPNO): 91045325
Cataloging Rule: Nippon Cataloging Rules, Preliminary New Edition
Bibliographic Record Category (NDL): 111