ULSI製造装置実用便覧

• 資料種別: 図書
• タイトル: ULSI製造装置実用便覧
• タイトルよみ: ユーエルエスアイ セイゾウ ソウチ ジツヨウ ベンラン
• 著者・編者: 菅原活郎, 前田和夫 編
• 著者標目: 菅原, 活郎 スガワラ, カツロウ ( 00218270 )典拠; 前田, 和夫, 1923- マエダ, カズオ, 1923- ( 00039268 )典拠
• 出版事項: 東京 : サイエンスフォーラム
• 出版年月日等: 1991.11
• 出版年（W3CDTF）: 1991
• 数量: 517p
• 大きさ: 31cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 集積回路 シュウセキカイロ ( 00572448 )典拠
• NDC8版: 549.7
• NDLC: ND386
• 対象利用者: 一般
• 書誌注記: 各章末: 文献
• 入手条件・定価: 70040円 (税込)
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND386-E174
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000002168192; http://id.ndl.go.jp/bib/000002168192
• 全国書誌番号: 92030977
• 目録規則: 日本目録規則新版予備版
• 整理区分コード: 111

目次

発刊にあたって

総説ULSI時代の半導体製造装置産業・技術の課題と展望/ 17

1．半導体製造装置産業とその現状/ 18

1．1 歴史的回顧/ 18

1．2 ULSIの進歩と装置産業/ 18