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フッ素化学 (Ultra clean technology series ; no.11)

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フッ素化学(Ultra clean technology series ; no.11)

国立国会図書館請求記号
ND371-E134
国立国会図書館書誌ID
000002232844
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/13650456
資料種別
図書
著者
UCS半導体基盤技術研究会 編
出版者
リアライズ社
出版年
1991.8
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
260p ; 27cm
NDC
549.8
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資料に関する注記

一般注記:

監修: 大見忠弘・新田雄久

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書誌情報

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デジタル

資料種別
図書
ISBN
4-947655-45-3
タイトル
タイトルよみ
フッソ カガク
著者・編者
UCS半導体基盤技術研究会 編
著者標目
半導体基盤技術研究会 ハンドウタイ キバン ギジュツ ケンキュウカイ ( 00264648 )典拠
出版年月日等
1991.8
出版年(W3CDTF)
1991