半導体・液晶製造における静電気障害とその対策 : Proceeding (超LSIウルトラクリーンテクノロジーワークショップ ; 第22回)

半導体・液晶製造における静電気障害とその対策 : Proceeding

(超LSIウルトラクリーンテクノロジーワークショップ ; 第22回)

国立国会図書館請求記号: ND371-E174
国立国会図書館書誌ID: 000002291723

資料種別: 図書

著者: UCS半導体基盤技術研究会編

出版者: UCS半導体基盤技術研究会

出版年: 1992.12

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 91p ; 30cm

NDC: 549.8

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資料に関する注記

一般注記：: 英語書名: Contamination free static charge neutrulization technology in ULSI and TFT LCD display 英文併記付 (1枚)期日・会場: 1992年12月19日機械振興会館ホール

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書誌情報

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紙

資料種別: 図書
タイトル: 半導体・液晶製造における静電気障害とその対策 : Proceeding
タイトルよみ: ハンドウタイエキショウセイゾウニオケルセイデンキショウガイトソノタイサク
著者・編者: UCS半導体基盤技術研究会編
シリーズタイトル: 超LSIウルトラクリーンテクノロジーワークショップ ; 第22回
著者標目: 半導体基盤技術研究会ハンドウタイキバンギジュツケンキュウカイ ( 00264648 )典拠
出版事項: 東京 : UCS半導体基盤技術研究会
出版年月日等: 1992.12
出版年（W3CDTF）: 1992
数量: 91p
大きさ: 30cm
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
件名標目: 静電気セイデンキ ( 00570281 )典拠
帯電防止タイデンボウシ ( 00572502 )典拠
半導体ハンドウタイ ( 00562913 )典拠
NDC8版: 549.8
NDLC: ND371
対象利用者: 一般
一般注記: 英語書名: Contamination free static charge neutrulization technology in ULSI and TFT LCD display 英文併記
付 (1枚)
期日・会場: 1992年12月19日機械振興会館ホール
書誌注記: 各章末: 参考文献
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: ND371-E174
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000002291723
http://id.ndl.go.jp/bib/000002291723
全国書誌番号: 94013400
目録規則: 日本目録規則新版予備版
整理区分コード: 111