半導体・液晶製造における静電気障害とその対策 : Proceeding(超LSIウルトラクリーンテクノロジーワークショップ ; 第22回)

Call No. (NDL): ND371-E174
Bibliographic ID of National Diet Library: 000002291723
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/13649547

Material type: 図書

Author: UCS半導体基盤技術研究会編

Publisher: UCS半導体基盤技術研究会

Publication date: 1992.12

Material Format: Paper・Digital

Capacity, size, etc.: 91p ; 30cm

NDC: 549.8

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Note (General)：: 英語書名: Contamination free static charge neutrulization technology in ULSI and TFT LCD display 英文併記付 (1枚)期日・会場: 1992年12月19日機械振興会館ホール

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Paper Digital

Material Type: 図書
Title: 半導体・液晶製造における静電気障害とその対策 : Proceeding
Title Transcription: ハンドウタイエキショウセイゾウニオケルセイデンキショウガイトソノタイサク
Author/Editor: UCS半導体基盤技術研究会編
Series Title: 超LSIウルトラクリーンテクノロジーワークショップ ; 第22回
Author Heading: 半導体基盤技術研究会ハンドウタイキバンギジュツケンキュウカイ ( 00264648 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: 東京 : UCS半導体基盤技術研究会
Publication Date: 1992.12
Publication Date (W3CDTF): 1992
Extent: 91p
Size: 30cm
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 静電気セイデンキ ( 00570281 )Authorities
帯電防止タイデンボウシ ( 00572502 )Authorities
半導体ハンドウタイ ( 00562913 )Authorities
NDC 8th ed.: 549.8
NDLC: ND371
Target Audience: 一般
Note (General): 英語書名: Contamination free static charge neutrulization technology in ULSI and TFT LCD display 英文併記
付 (1枚)
期日・会場: 1992年12月19日機械振興会館ホール
Note (Bibliography): 各章末: 参考文献
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: ND371-E174
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000002291723
http://id.ndl.go.jp/bib/000002291723
National Bibliography No. (JPNO): 94013400
Cataloging Rule: Nippon Cataloging Rules, Preliminary New Edition
Bibliographic Record Category (NDL): 111