Proceedings : the first International Symposium on Sputtering & Plasma Processes, ISSP '91

• 資料種別: 図書
• タイトル: Proceedings : the first International Symposium on Sputtering & Plasma Processes, ISSP '91
• 著者・編者: organized by ISSP '91 Committee; supported by the Study Committee of Sputtering & Plasma Processes, Japan Technology Transfer Association; with the cooperation of the Japan Society of Applied Physics ... [et al.]
• 出版事項: [Tokyo?] : the Committee
• 出版年月日等: 1991
• 出版年（W3CDTF）: 1991
• 数量: ii, 161 p. : ill.
• 大きさ: 30 cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: M15; MC141
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 1 paper (15 p.) in pocket.Includes bibliographical references
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M15-A8834
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000002306847; http://id.ndl.go.jp/bib/000002306847
• 全国書誌番号: 94028525
• 目録規則: 日本目録規則新版予備版
• 整理区分コード: 113