超高純度ガスの科学 第2分冊(データ編) (Surface science technology series ; 2)
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関東
神奈川県立川崎図書館
紙- 請求記号：
- 534.6-5 2
- 図書登録番号：
- 80535461
近畿
大阪府立中央図書館
紙- 請求記号：
- 549.8/155N/2
- 図書登録番号：
- 1116852268
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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 4-947655-67-4
- タイトル
- タイトルよみ
- チョウ コウジュンド ガス ノ カガク
- 巻次・部編番号
- 第2分冊(データ編)
- 著者・編者
- UCS半導体基盤技術研究会 編
- 著者標目
- 半導体基盤技術研究会 ハンドウタイ キバン ギジュツ ケンキュウカイ ( 00264648 )典拠
- 出版事項
- 出版年月日等
- 1994.4