Status and prospects of compact synchrotrons : May we expect their turn for lithography?

• 資料種別: 図書
• タイトル: Status and prospects of compact synchrotrons : May we expect their turn for lithography?
• 著者標目: 日本放射光学会 ニホン ホウシャコウ ガッカイ ( 00293706 )典拠
• 出版事項: [Tokyo] : Japanese Society for Synchrotron Radiation Research
• 出版年月日等: [1991?]
• 出版年（W3CDTF）: 1991
• 数量: iv, 73 p. : ill.
• 大きさ: 26 cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: M15; ND386; MC221
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: Cover title.Includes bibliographical references
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M15-A9176
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000002384428; http://id.ndl.go.jp/bib/000002384428
• 全国書誌番号: 95030049
• 目録規則: 日本目録規則新版予備版
• 整理区分コード: 113