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ULSIプロセス技術 (アドバンストエレクトロニクスシリーズ ; 1. エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 17)

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ULSIプロセス技術

(アドバンストエレクトロニクスシリーズ ; 1. エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 17)

国立国会図書館請求記号
ND386-G54
国立国会図書館書誌ID
000002596921
資料種別
図書
著者
原央 編
出版者
培風館
出版年
1997.6
資料形態
ページ数・大きさ等
286p ; 22cm
NDC
549.7
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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
4-563-03617-X
タイトルよみ
ULSI プロセス ギジュツ
著者・編者
原央 編
シリーズ著者・編者
菅野卓雄 [ほか]監修
著者標目
原, 央 ハラ, ヒサシ ( 00110384 )典拠
菅野, 卓雄, 1931- スガノ, タクオ, 1931- ( 00074042 )典拠
出版事項
出版年月日等
1997.6