ULSIプロセス技術 (アドバンストエレクトロニクスシリーズ ; 1. エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 17)

ULSIプロセス技術

(アドバンストエレクトロニクスシリーズ ; 1. エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 17)

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Material Type: 図書
ISBN: 4-563-03617-X
Title: ULSIプロセス技術
Title Transcription: ULSI プロセスギジュツ
Author/Editor: 原央編
Series Title: アドバンストエレクトロニクスシリーズ ; 1. エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 17
Author/Editor (Series Title): 菅野卓雄 [ほか]監修
Author Heading: 原, 央ハラ, ヒサシ ( 00110384 )Authorities
菅野, 卓雄, 1931- スガノ, タクオ, 1931- ( 00074042 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: 東京 : 培風館
Publication Date: 1997.6
Publication Date (W3CDTF): 1997
Extent: 286p
Size: 22cm
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 集積回路シュウセキカイロ ( 00572448 )Authorities
NDC 9th ed.: 549.7 : Electronic engineering
NDLC: ND386
Target Audience: 一般
Note (Bibliography): 文献あり
索引あり
Price: 5600円
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: ND386-G54
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000002596921
http://id.ndl.go.jp/bib/000002596921
National Bibliography No. (JPNO): 98012965
Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
Bibliographic Record Category (NDL): 111