マイクロ加工の物理と応用

• 資料種別: 図書
• ISBN: 4-7853-2508-9
• タイトル: マイクロ加工の物理と応用
• タイトルよみ: マイクロ カコウ ノ ブツリ ト オウヨウ
• 著者・編者: 吉田善一 著
• シリーズタイトル: 応用物理学選書 ; 8
• 著者標目: 吉田, 善一, 1957- ヨシダ, ヨシカズ, 1957- ( 00677819 )典拠
• 出版事項: 東京 : 裳華房
• 出版年月日等: 1998.3
• 出版年（W3CDTF）: 1998
• 数量: 234p
• 大きさ: 22cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 半導体 ハンドウタイ ( 00562913 )典拠; 機械工作 キカイコウサク ( 00565749 )典拠
• NDC9版: 549.8 : 電子工学
• NDLC: ND371
• 対象利用者: 一般
• 書誌注記: 文献あり; 索引あり
• 入手条件・定価: 3800円
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND371-G75
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000002680036; http://id.ndl.go.jp/bib/000002680036
• 全国書誌番号: 98089753
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111

• 要約等: マイクロテクノロジーは、マイクロ電子機械装置を実現するための技術であり、各種の基板製造、マイクロ加工、組立製造、評価・計測に関連する幅広い技術である。 本書は、マイクロテクノロジーの中核であるマイクロ加工の原理から応用までを総合的に理解できるように、学部あるいは大学院の学生、初めてマイクロ加工に従事...
• 著者紹介: 吉田 善一 東洋大学教授、工学博士。1957年 兵庫県に生まれる。神戸工業高等専門学校中退、茨城大学工学部卒業。松下電器産業株式会社生産技術研究所・中央研究所、山梨大学助教授などを経て現職。（提供元: 出版情報登録センター（JPRO））

目次

1．マイクロ加工の意義

1.1　マイクロ加工に求められるもの

1.2　マイクロ加工の手段

1.3　マイクロ加工の歴史

2．光・電子・イオン