マイクロ加工の物理と応用 (応用物理学選書 ; 8)
マイクロ加工の物理と応用
(応用物理学選書 ; 8)
- 国立国会図書館請求記号
- ND371-G75
- 国立国会図書館書誌ID
- 000002680036
資料詳細
要約等：
- マイクロテクノロジーは、マイクロ電子機械装置を実現するための技術であり、各種の基板製造、マイクロ加工、組立製造、評価・計測に関連する幅広い技術である。 本書は、マイクロテクノロジーの中核であるマイクロ加工の原理から応用までを総合的に理解できるように、学部あるいは大学院の学生、初めてマイクロ加工に従事...
著者紹介：
- 吉田 善一 東洋大学教授、工学博士。1957年 兵庫県に生まれる。神戸工業高等専門学校中退、茨城大学工学部卒業。松下電器産業株式会社生産技術研究所・中央研究所、山梨大学助教授などを経て現職。（提供元: 出版情報登録センター（JPRO））
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目次
1．マイクロ加工の意義
1.1 マイクロ加工に求められるもの
1.2 マイクロ加工の手段
1.3 マイクロ加工の歴史
2．光・電子・イオン
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関東
埼玉県立久喜図書館
紙- 請求記号：
- 532-ﾏｲ
- 図書登録番号：
- 100237734
東京都立中央図書館
紙- 請求記号：
- 5351-3003-98
- 図書登録番号：
- 1128737357
横浜市立図書館
紙- 請求記号：
- 532114
- 図書登録番号：
- 2018689882
東海・北陸
福井県立図書館
紙- 請求記号：
- 532/ﾖｼﾀ
- 図書登録番号：
- 1013224512
愛知県図書館
紙- 請求記号：
- 532-ﾖｼ-748161
- 図書登録番号：
- 1107481615
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 4-7853-2508-9
- タイトル
- タイトルよみ
- マイクロ カコウ ノ ブツリ ト オウヨウ
- 著者・編者
- 吉田善一 著
- シリーズタイトル
- 著者標目
- 吉田, 善一, 1957- ヨシダ, ヨシカズ, 1957- ( 00677819 )典拠
- 出版事項
- 出版年月日等
- 1998.3
- 出版年（W3CDTF）
- 1998