マイクロ加工の物理と応用 (応用物理学選書 ; 8)
マイクロ加工の物理と応用
(応用物理学選書 ; 8)
- Call No. (NDL)
- ND371-G75
- Bibliographic ID of National Diet Library
- 000002680036
Detailed bibliographic record
Summary, etc.：
- マイクロテクノロジーは、マイクロ電子機械装置を実現するための技術であり、各種の基板製造、マイクロ加工、組立製造、評価・計測に関連する幅広い技術である。 本書は、マイクロテクノロジーの中核であるマイクロ加工の原理から応用までを総合的に理解できるように、学部あるいは大学院の学生、初めてマイクロ加工に従事...
Author introduction：
- 吉田 善一 東洋大学教授、工学博士。1957年 兵庫県に生まれる。神戸工業高等専門学校中退、茨城大学工学部卒業。松下電器産業株式会社生産技術研究所・中央研究所、山梨大学助教授などを経て現職。(Provided by: 出版情報登録センター（JPRO）)
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Table of Contents
1．マイクロ加工の意義
1.1 マイクロ加工に求められるもの
1.2 マイクロ加工の手段
1.3 マイクロ加工の歴史
2．光・電子・イオン
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- Material Type
- 図書
- ISBN
- 4-7853-2508-9
- Title
- Title Transcription
- マイクロ カコウ ノ ブツリ ト オウヨウ
- Author/Editor
- 吉田善一 著
- Series Title
- Author Heading
- 吉田, 善一, 1957- ヨシダ, ヨシカズ, 1957- ( 00677819 )Authorities
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 1998.3
- Publication Date (W3CDTF)
- 1998