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目次
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多層配線技術の展望ーデバイスの性能向上を維持するために、配線・インターコネクト技術に期待すること/ 1ー8
1. はじめに/ 1
2. MOSFET微細化の指針と、性能向上を阻害する要因の分析/ 1
3. MOSFETの寄生抵抗を低減するための電極配線技術/ 2
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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 4-88903-115-4
- タイトルよみ
- ハンドウタイ デバイスヨウ ノ デンキョク ハイセン ザイリョウ ノ キソ ト サイキン ノ シンポ
- シリーズタイトル
- 出版年月日等
- 1997.12
- 出版年(W3CDTF)
- 1997
- 数量
- 107p