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薄膜の界面構造/組成および物性評価技術 (AP ; 982339. 薄膜・表面物理基礎講座 ; 第27回)

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薄膜の界面構造/組成および物性評価技術

(AP ; 982339. 薄膜・表面物理基礎講座 ; 第27回)

国立国会図書館請求記号
ND371-G118
国立国会図書館書誌ID
000002742465
資料種別
図書
著者
応用物理学会薄膜・表面物理分科会 編
出版者
応用物理学会薄膜・表面物理分科会
出版年
1998.11
資料形態
ページ数・大きさ等
124p ; 26cm
NDC
549.8
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目次

  • 11月16日(月)「界面構造/組成評価」

  • 反射電子顕微鏡 市川昌和(アトムテクノロジー研究体)/ 1ー11

  • 透過電子顕微鏡法 田中信夫(名古屋大学工学研究科)/ 12ー21

  • X線光電子分光法 服部健雄(武蔵工業大学工学部)/ 22ー32

  • X線回折・X線定在波法 秋本晃一(名古屋大学工学研究科)/ 33ー43

書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ハクマク ノ カイメン コウゾウ ソセイ オヨビ ブッセイ ヒョウカ ギジュツ
著者・編者
応用物理学会薄膜・表面物理分科会 編
著者標目
応用物理学会 オウヨウ ブツリ ガッカイ ( 00281497 )典拠
出版年月日等
1998.11
出版年(W3CDTF)
1998
数量
124p