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薄膜の界面構造/組成および物性評価技術 (AP ; 982339. 薄膜・表面物理基礎講座 ; 第27回)

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薄膜の界面構造/組成および物性評価技術

(AP ; 982339. 薄膜・表面物理基礎講座 ; 第27回)

Call No. (NDL)
ND371-G118
Bibliographic ID of National Diet Library
000002742465
Material type
図書
Author
応用物理学会薄膜・表面物理分科会 編
Publisher
応用物理学会薄膜・表面物理分科会
Publication date
1998.11
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
124p ; 26cm
NDC
549.8
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Table of Contents

  • 11月16日(月)「界面構造/組成評価」

  • 反射電子顕微鏡 市川昌和(アトムテクノロジー研究体)/ 1ー11

  • 透過電子顕微鏡法 田中信夫(名古屋大学工学研究科)/ 12ー21

  • X線光電子分光法 服部健雄(武蔵工業大学工学部)/ 22ー32

  • X線回折・X線定在波法 秋本晃一(名古屋大学工学研究科)/ 33ー43

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ハクマク ノ カイメン コウゾウ ソセイ オヨビ ブッセイ ヒョウカ ギジュツ
Author/Editor
応用物理学会薄膜・表面物理分科会 編
Author Heading
応用物理学会 オウヨウ ブツリ ガッカイ ( 00281497 )Authorities
Publication Date
1998.11
Publication Date (W3CDTF)
1998
Extent
124p