薄膜成長と表面・界面 : 薄膜・表面物理分科会特別研究会. 1

• 資料種別: 図書
• タイトル: 薄膜成長と表面・界面 : 薄膜・表面物理分科会特別研究会
• タイトルよみ: ハクマク セイチョウ ト ヒョウメン カイメン : ハクマク ヒョウメン ブツリ ブンカカイ トクベツ ケンキュウカイ
• 巻次・部編番号: 1
• 著者標目: 応用物理学会 オウヨウ ブツリ ガッカイ ( 00281497 )典拠
• 出版事項: [東京] : 応用物理学会薄膜・表面物理分科会
• 出版年月日等: [1990]
• 出版年（W3CDTF）: 1990
• 数量: 62p
• 大きさ: 26cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 薄膜--会議録 ハクマク カイギロク ( 00610990 )典拠
• NDC9版: 549.8 : 電子工学
• NDLC: ND371
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 会期・会場: 1990年11月27日・28日 東京工業大学
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND371-G125
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000002786719; http://id.ndl.go.jp/bib/000002786719
• 全国書誌番号: 20019226
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111

目次

11月27日（火）

RHEED，RBSによるSi上の半導体・金属薄膜の成長/ 1

井野正三（東大理）

走査型反射電子顕微鏡によるSi薄膜成長/ 3ー8

市川昌和（日立中研）