薄膜成長と表面・界面 : 薄膜・表面物理分科会特別研究会. 1

• Material Type: 図書
• Title: 薄膜成長と表面・界面 : 薄膜・表面物理分科会特別研究会
• Title Transcription: ハクマク セイチョウ ト ヒョウメン カイメン : ハクマク ヒョウメン ブツリ ブンカカイ トクベツ ケンキュウカイ
• Volume: 1
• Author Heading: 応用物理学会 オウヨウ ブツリ ガッカイ ( 00281497 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: [東京] : 応用物理学会薄膜・表面物理分科会
• Publication Date: [1990]
• Publication Date (W3CDTF): 1990
• Extent: 62p
• Size: 26cm
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: 薄膜--会議録 ハクマク カイギロク ( 00610990 )Authorities
• NDC 9th ed.: 549.8 : Electronic engineering
• NDLC: ND371
• Target Audience: 一般
• Note (General): 会期・会場: 1990年11月27日・28日 東京工業大学
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: ND371-G125
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000002786719; http://id.ndl.go.jp/bib/000002786719
• National Bibliography No. (JPNO): 20019226
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 111

Table of Contents

11月27日（火）

RHEED，RBSによるSi上の半導体・金属薄膜の成長/ 1

井野正三（東大理）

走査型反射電子顕微鏡によるSi薄膜成長/ 3ー8

市川昌和（日立中研）