300mm CIM/自動化アセスメント : J300/I300I GJGの装置開発へのインパクト : 講演資料

• 資料種別: 図書
• タイトル: 300mm CIM/自動化アセスメント : J300/I300I GJGの装置開発へのインパクト : 講演資料
• タイトルよみ: 300mm CIM ジドウカ アセスメント : J300 I300I GJG ノ ソウチ カイハツ エノ インパクト : コウエン シリョウ
• 著者・編者: J300 CIM企画グループ, SEMIジャパン・スタンダード製造装置部会 著
• 著者標目: 日本半導体製造装置協会 ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ ( 00293650 )典拠; SEMIジャパン SEMI ジャパン ( 00299615 )典拠
• 出版事項: 東京 : SEMIジャパン
• 出版年月日等: 1998.4
• 出版年（W3CDTF）: 1998
• 数量: 10, 56, 79p
• 大きさ: 30cm
• 並列タイトル等: 300mm CIM/FA assessment
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 半導体製造装置 ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ( 001237257 )典拠
• NDC9版: 549.8 : 電子工学
• NDLC: ND371
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 会期: 1998年4月15日; 共同刊行: 日本半導体製造装置協会
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND371-G154
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000002877495; http://id.ndl.go.jp/bib/000002877495
• 全国書誌番号: 20106483
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111