300mm CIM/自動化アセスメント : J300/I300I GJGの装置開発へのインパクト : 講演資料

Call No. (NDL): ND371-G154
Bibliographic ID of National Diet Library: 000002877495

Material type: 図書

Author: J300 CIM企画グループ, SEMIジャパン・スタンダード製造装置部会著

Publisher: SEMIジャパン

Publication date: 1998.4

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 10, 56, 79p ; 30cm

NDC: 549.8

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Note (General)：: 会期: 1998年4月15日共同刊行: 日本半導体製造装置協会

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Paper

Material Type: 図書
Title: 300mm CIM/自動化アセスメント : J300/I300I GJGの装置開発へのインパクト : 講演資料
Title Transcription: 300mm CIM ジドウカアセスメント : J300 I300I GJG ノソウチカイハツエノインパクト : コウエンシリョウ
Author/Editor: J300 CIM企画グループ, SEMIジャパン・スタンダード製造装置部会著
Author Heading: 日本半導体製造装置協会ニホンハンドウタイセイゾウソウチキョウカイ ( 00293650 )Authorities
SEMIジャパン SEMI ジャパン ( 00299615 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: 東京 : SEMIジャパン
Publication Date: 1998.4
Publication Date (W3CDTF): 1998
Extent: 10, 56, 79p
Size: 30cm
Alternative Title: 300mm CIM/FA assessment
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 半導体製造装置ハンドウタイセイゾウソウチ ( 001237257 )Authorities
NDC 9th ed.: 549.8 : Electronic engineering
NDLC: ND371
Target Audience: 一般
Note (General): 会期: 1998年4月15日
共同刊行: 日本半導体製造装置協会
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: ND371-G154
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000002877495
http://id.ndl.go.jp/bib/000002877495
National Bibliography No. (JPNO): 20106483
Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
Bibliographic Record Category (NDL): 111