次世代ファブにおけるCIM/FAの展望とスタンダードの最適化 : SEMICON kansai '99 prospect of CIM/FA for the next generation fab.& optimization of SEMI standards講演予稿集 (OTHER ; 99-2)

次世代ファブにおけるCIM/FAの展望とスタンダードの最適化 : SEMICON kansai '99 prospect of CIM/FA for the next generation fab.& optimization of SEMI standards講演予稿集

(OTHER ; 99-2)

国立国会図書館請求記号: ND371-G156
国立国会図書館書誌ID: 000002877537

資料種別: 図書

著者: SEMIジャパン編

出版者: SEMIジャパン

出版年: 1999.6

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 256p ; 30cm

NDC: 549.8

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資料に関する注記

一般注記：: 会期: 1999年6月3日

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書誌情報

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紙

資料種別: 図書
タイトル: 次世代ファブにおけるCIM/FAの展望とスタンダードの最適化 : SEMICON kansai '99 prospect of CIM/FA for the next generation fab.& optimization of SEMI standards講演予稿集
タイトルよみ: ジセダイファブニオケル CIM FA ノテンボウトスタンダードノサイテキカ : SEMICON kansai '99 prospect of CIM FA for the next generation fab. & optimization of SEMI standards コウエンヨコウシュウ
著者・編者: SEMIジャパン編
シリーズタイトル: OTHER ; 99-2
著者標目: SEMIジャパン SEMI ジャパン ( 00299615 )典拠
出版事項: 東京 : SEMIジャパン
出版年月日等: 1999.6
出版年（W3CDTF）: 1999
数量: 256p
大きさ: 30cm
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
件名標目: 半導体ハンドウタイ ( 00562913 )典拠
NDC9版: 549.8 : 電子工学
NDLC: ND371
対象利用者: 一般
一般注記: 会期: 1999年6月3日
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: ND371-G156
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000002877537
http://id.ndl.go.jp/bib/000002877537
全国書誌番号: 20106523
目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
整理区分コード: 111