次世代ファブにおけるCIM/FAの展望とスタンダードの最適化 : SEMICON kansai '99 prospect of CIM/FA for the next generation fab.& optimization of SEMI standards講演予稿集 (OTHER ; 99-2)

次世代ファブにおけるCIM/FAの展望とスタンダードの最適化 : SEMICON kansai '99 prospect of CIM/FA for the next generation fab.& optimization of SEMI standards講演予稿集

(OTHER ; 99-2)

Call No. (NDL): ND371-G156
Bibliographic ID of National Diet Library: 000002877537

Material type: 図書

Author: SEMIジャパン編

Publisher: SEMIジャパン

Publication date: 1999.6

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 256p ; 30cm

NDC: 549.8

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Note (General)：: 会期: 1999年6月3日

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Material Type: 図書
Title: 次世代ファブにおけるCIM/FAの展望とスタンダードの最適化 : SEMICON kansai '99 prospect of CIM/FA for the next generation fab.& optimization of SEMI standards講演予稿集
Title Transcription: ジセダイファブニオケル CIM FA ノテンボウトスタンダードノサイテキカ : SEMICON kansai '99 prospect of CIM FA for the next generation fab. & optimization of SEMI standards コウエンヨコウシュウ
Author/Editor: SEMIジャパン編
Series Title: OTHER ; 99-2
Author Heading: SEMIジャパン SEMI ジャパン ( 00299615 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: 東京 : SEMIジャパン
Publication Date: 1999.6
Publication Date (W3CDTF): 1999
Extent: 256p
Size: 30cm
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 半導体ハンドウタイ ( 00562913 )Authorities
NDC 9th ed.: 549.8 : Electronic engineering
NDLC: ND371
Target Audience: 一般
Note (General): 会期: 1999年6月3日
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: ND371-G156
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000002877537
http://id.ndl.go.jp/bib/000002877537
National Bibliography No. (JPNO): 20106523
Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
Bibliographic Record Category (NDL): 111