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目次
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第1章 序論
システムLSl時代の主役：SOl LSI/ 3
第2章 基板作製技術
第1節 SOI技術
全国の図書館の所蔵
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関東
神奈川県立川崎図書館
紙- 請求記号：
- 549.7-121
- 図書登録番号：
- 80878234
近畿
滋賀県立図書館
紙- 請求記号：
- 3-5497-ﾊ
- 図書登録番号：
- 142291020
その他
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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 4-89808-022-7
- タイトル
- タイトルよみ
- SOI ノ カガク
- 著者・編者
- UCS半導体基盤技術研究会 編大見忠弘, 新田雄久 監修
- 著者標目
- 大見, 忠弘, 1939- オオミ, タダヒロ, 1939- ( 00406390 )典拠半導体基盤技術研究会 ハンドウタイ キバン ギジュツ ケンキュウカイ ( 00264648 )典拠
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2000.4
- 出版年（W3CDTF）
- 2000