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Introduction to microlithography : theory, materials, and processing / L.F. Thompson, editor, C.G. Willson, editor, M.J. Bowden, editor ; based on a workshop sponsored by the ACS Division of Organic Coatings and Plastics Chemistry at the 185th Meeting of the American Chemical Society, Seattle, Washington, March 20-25, 1983. (ACS symposium series)

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Introduction to microlithography : theory, materials, and processing / L.F. Thompson, editor, C.G. Willson, editor, M.J. Bowden, editor ; based on a workshop sponsored by the ACS Division of Organic Coatings and Plastics Chemistry at the 185th Meeting of the American Chemical Society, Seattle, Washington, March 20-25, 1983.

(ACS symposium series)

国立国会図書館請求記号
M15-A52
国立国会図書館書誌ID
000003104953
資料種別
図書
著者
Thompson, L. F., 1944-ほか
出版者
The Society
出版年
1983.
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
ix, 363 p. : ill. ; 24 cm.
NDC
-
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資料詳細

内容細目：

An introduction to lithography / L.F. ThompsonThe lithographic process--the physics / L.F. Thompson and M.J. BowdenOrganic resist materials--theory an...

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
ISBN
0841207755
ISSN（シリーズ）
0097-6156
タイトル
Introduction to microlithography : theory, materials, and processing / L.F. Thompson, editor, C.G. Willson, editor, M.J. Bowden, editor ; based on a workshop sponsored by the ACS Division of Organic Coatings and Plastics Chemistry at the 185th Meeting of the American Chemical Society, Seattle, Washington, March 20-25, 1983.
シリーズタイトル
ACS symposium series
著者標目
Thompson, L. F., 1944-
Willson, C. G. (C. Grant) , 1939-
Bowden, M. J., 1943-
American Chemical Society. Division of Organic Coatings and Plastics Chemistry.
American Chemical Society. Meeting (185th : 1983 : Seattle, Wash.)
出版事項
Washington, D.C. : The Society
出版年月日等
1983.
出版年（W3CDTF）
1983
数量
ix, 363 p. : ill. ; 24 cm.