La Gravure sèche en microélectronique, 24, 26 novembre 1981, Grenoble. (Le Vide, les couches minces ; numéro spécial, Avril 1982.)

La Gravure sèche en microélectronique, 24, 26 novembre 1981, Grenoble.

(Le Vide, les couches minces ; numéro spécial, Avril 1982.)

著者: Journées d'étude sur la gravure sèche en microélectronique (1981 : Grenoble)

資料に関する注記

一般注記：: Cover title."Journées d'étude sur la gravure sèche en microélectronique, Grenoble, 24 au 26 novembre 1981"--P. 1.Includes bibliographical references.

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資料種別: 図書
タイトル: La Gravure sèche en microélectronique, 24, 26 novembre 1981, Grenoble.
シリーズタイトル: Le Vide, les couches minces ; numéro spécial, Avril 1982.
著者標目: Journées d'étude sur la gravure sèche en microélectronique (1981 : Grenoble)
出版事項: Paris : Socieéte française du vide
出版年月日等: 1982.
出版年（W3CDTF）: 1982
数量: 198 p. : ill. ; 24 cm.
NDLC: M15
ND
一般注記: Cover title.
"Journées d'étude sur la gravure sèche en microélectronique, Grenoble, 24 au 26 novembre 1981"--P. 1.
Includes bibliographical references.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M15-A4466
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000003112834
http://id.ndl.go.jp/bib/000003112834
整理区分コード: 211