La Gravure sèche en microélectronique, 24, 26 novembre 1981, Grenoble. (Le Vide, les couches minces ; numéro spécial, Avril 1982.)

La Gravure sèche en microélectronique, 24, 26 novembre 1981, Grenoble.

(Le Vide, les couches minces ; numéro spécial, Avril 1982.)

Author: Journées d'étude sur la gravure sèche en microélectronique (1981 : Grenoble)

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Note (General)：: Cover title."Journées d'étude sur la gravure sèche en microélectronique, Grenoble, 24 au 26 novembre 1981"--P. 1.Includes bibliographical references.

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Material Type: 図書
Title: La Gravure sèche en microélectronique, 24, 26 novembre 1981, Grenoble.
Series Title: Le Vide, les couches minces ; numéro spécial, Avril 1982.
Author Heading: Journées d'étude sur la gravure sèche en microélectronique (1981 : Grenoble)
Publication, Distribution, etc.: Paris : Socieéte française du vide
Publication Date: 1982.
Publication Date (W3CDTF): 1982
Extent: 198 p. : ill. ; 24 cm.
NDLC: M15
ND
Note (General): Cover title.
"Journées d'étude sur la gravure sèche en microélectronique, Grenoble, 24 au 26 novembre 1981"--P. 1.
Includes bibliographical references.
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: M15-A4466
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000003112834
http://id.ndl.go.jp/bib/000003112834
Bibliographic Record Category (NDL): 211