Laser diagnostics and photochemical processing for semiconductor devices : symposium held November 1982 in Boston, Massachusetts, U.S.A. / editors, R.M. Osgood, S.R.J. Brueck, and H.R. Schlossberg. (Materials Research Society symposia proceedings ; v. 17)

Laser diagnostics and photochemical processing for semiconductor devices : symposium held November 1982 in Boston, Massachusetts, U.S.A. / editors, R.M. Osgood, S.R.J. Brueck, and H.R. Schlossberg.

(Materials Research Society symposia proceedings ; v. 17)

国立国会図書館請求記号: M15-A2929
国立国会図書館書誌ID: 000003112864

資料種別: 図書

著者: Osgood, R. M.ほか

出版者: North-Holland

出版年: c1983.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: xiii, 298 p. : ill. ; 24 cm.

NDC: -

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資料に関する注記

一般注記：: "Sponsored by the Air Force Office of Scientific Research"--T.p. verso.

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書誌情報

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紙

資料種別: 図書
ISBN: 0444007822
ISSN（シリーズ）: 0272-9172
タイトル: Laser diagnostics and photochemical processing for semiconductor devices : symposium held November 1982 in Boston, Massachusetts, U.S.A. / editors, R.M. Osgood, S.R.J. Brueck, and H.R. Schlossberg.
シリーズタイトル: Materials Research Society symposia proceedings ; v. 17
著者標目: Osgood, R. M.
Brueck, S. R. J.
Schlossberg, H. R.
United States. Air Force. Office of Scientific Research.
出版事項: New York : North-Holland
出版年月日等: c1983.
出版年（W3CDTF）: 1983
数量: xiii, 298 p. : ill. ; 24 cm.
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
件名標目: Lasers -- Industrial applications -- Congresses.
Semiconductors -- Congresses.
LCC: TA1673
DDC: 621.3815/2
NDLC: M15
ND
一般注記: "Sponsored by the Air Force Office of Scientific Research"--T.p. verso.
書誌注記: Includes bibliographical references and indexes.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M15-A2929
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000003112864
http://id.ndl.go.jp/bib/000003112864
LC control number: 83008028
https://lccn.loc.gov/83008028
整理区分コード: 211