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Materials for microlithography : radiation-sensitive polymers / L.F. Thompson, editor, C.G. Willson, editor, J.M.J. Fréchet, editor ; based on a symposium cosponsored by the Division of Polymeric Materials, Science and Engineering and the Division of Polymer Chemistry, at the 187th Meeting of the American Chemical Society, St. Louis, Missouri, April 8-13, 1984. (ACS symposium series)

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Materials for microlithography : radiation-sensitive polymers / L.F. Thompson, editor, C.G. Willson, editor, J.M.J. Fréchet, editor ; based on a symposium cosponsored by the Division of Polymeric Materials, Science and Engineering and the Division of Polymer Chemistry, at the 187th Meeting of the American Chemical Society, St. Louis, Missouri, April 8-13, 1984.

(ACS symposium series)

国立国会図書館請求記号
M15-A2628
国立国会図書館書誌ID
000003121013
資料種別
図書
著者
Thompson, L. F., 1944-ほか
出版者
The Society
出版年
1984.
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
viii, 494 p. : ill. ; 24 cm.
NDC
-
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紙

資料種別
図書
ISBN
0841208719
ISSN（シリーズ）
0097-6156
タイトル
Materials for microlithography : radiation-sensitive polymers / L.F. Thompson, editor, C.G. Willson, editor, J.M.J. Fréchet, editor ; based on a symposium cosponsored by the Division of Polymeric Materials, Science and Engineering and the Division of Polymer Chemistry, at the 187th Meeting of the American Chemical Society, St. Louis, Missouri, April 8-13, 1984.
シリーズタイトル
ACS symposium series
著者標目
Thompson, L. F., 1944-
Willson, C. G. (C. Grant) , 1939-
Fréchet, J. M. J.
American Chemical Society. Division of Polymeric Materials: Science and Engineering.
American Chemical Society. Division of Polymer Chemistry.
American Chemical Society. Meeting (187th : 1984 : Saint Louis, Mo.)
出版事項
Washington, D.C. : The Society
出版年月日等
1984.
出版年（W3CDTF）
1984
数量
viii, 494 p. : ill. ; 24 cm.