Proceedings of the Fifth Symposium on Plasma Processing / edited by G.S. Mathad, G.C. Schwartz, G. Smolinsky.

• 資料種別: 図書
• タイトル: Proceedings of the Fifth Symposium on Plasma Processing / edited by G.S. Mathad, G.C. Schwartz, G. Smolinsky.
• シリーズタイトル: Proceedings
• シリーズ著者・編者: Electrochemical Society; v. 85-1
• タイトル標目: Proceedings (Electrochemical Society) ; v. 85-1.
• 著者標目: Symposium on Plasma Processing (5th : 1984 : New Orleans, La.); Mathad, G. S.; Schwartz, G. C.; Smolinsky, G.
• 出版事項: Pennington, NJ (10 S. Main St., Pennington 08534-2896) : Dielectrics and Insulation and Electronics Divisions, Electrochemical Society
• 出版年月日等: c1985.
• 出版年（W3CDTF）: 1985
• 数量: x, 619 p. : ill. ; 23 cm.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Plasma etching -- Congresses.; Semiconductors -- Etching -- Congresses.
• LCC: TK7871.85
• DDC: 621.3815/2
• NDLC: M15; ND
• 書誌注記: Includes bibliographies and indexes.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M15-A1400
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000003125398; http://id.ndl.go.jp/bib/000003125398
• LC control number: 85070593; https://lccn.loc.gov/85070593
• 整理区分コード: 211